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半导体工业对所有使用的石墨材料要求非常高，其纯度越高越好，尤其是直接和半导体材料接触的石墨器件，比如坩埚、烧结模等，杂质含量多了会污染半导体材料。所以不光对所使用石墨材料的纯度要严加控制，而且还要经过高温石墨化处理，使其灰分降到低程度。
半导体工业用石墨材料颗粒度一定要细，颗粒度细的石墨不但容易达到加工精度，而且高温强度要高，损耗小，特别是用于烧结的模具，加工精度要求要高。
因为半导体工业所使用的石墨器件（包括加热器和烧结模）都需要承受反复加热与冷却过程，为了提高石墨器件的使用寿命，要求所使用的石墨材料在高温下具有良好的尺寸稳定性和耐热冲击性能。
石墨材料应用在半导体工业中，必须满足以上各项要求。
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